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白光干涉儀

白光干涉儀

更新時(shí)間:2024-11-28

產(chǎn)品型號:

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。

產(chǎn)品詳情
  白光干涉儀概述:
  Rtec在加利福尼亞硅谷制造。已被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室、大學(xué)和行業(yè)使用。UP系列在一個(gè)頭上組合了4種成像模式。能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,只需單擊按鈕,就能轉(zhuǎn)換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢,并且各項(xiàng)技術(shù)彼此互補(bǔ)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。
  3D光學(xué)輪廓儀組合
  1.白光干涉儀
  2.旋轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡;
  3.暗視野顯微鏡;
  4.明視野顯微鏡。
  主要平臺規(guī)格:
  產(chǎn)品規(guī)格:
  1.標(biāo)準(zhǔn)電動平臺150x150mm(可選210x310mm)
  2.標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)塔,電動轉(zhuǎn)塔可選
  3.垂直范圍可達(dá)100mm
  4.傾斜階段6度
  5.XY平臺分辨率0.1um
  6.自動拼接楷模
  Sigma頭 - 僅限白光干涉儀
  Lambda頭 - 白光干涉儀+共焦+暗場+明場
  應(yīng)用
  粗糙度;體積磨損;臺階高度;薄膜厚度;形貌
  測試圖像示例:

 

 

  

  以上為雙模式三維表面輪廓儀拍出的樣品形貌。在同一平臺上結(jié)合使用多種光學(xué)技術(shù),測試儀可以測量幾乎任何類型的nm分辨率樣品。該表面輪廓儀配有功能強(qiáng)大的分析軟件,符合多種標(biāo)準(zhǔn)。雙模式三維表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,模式切換可實(shí)現(xiàn)自動化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。

 

 

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