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三維形貌儀

三維形貌儀

更新時(shí)間:2025-04-15

產(chǎn)品型號:

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):雙模式三維形貌儀(三維成像)能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。

產(chǎn)品詳情

三維形貌儀概述

Rtec 三維形貌儀已被多個(gè)實(shí)驗(yàn)室、大學(xué)和行業(yè)使用。UP系列在一個(gè)頭上組合了4種成像模式。能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,只需單擊按鈕,就能轉(zhuǎn)換成像模式。這種組合可以輕松地對任何表面進(jìn)行成像如透明、平坦、黑暗、扁平、彎曲的表面等。每種成像模式都具有各自的優(yōu)勢,并且各項(xiàng)技術(shù)彼此互補(bǔ)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。


三維形貌儀

3D光學(xué)輪廓儀組合

白光干涉儀

旋轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡

暗視野顯微鏡

明視野顯微鏡


主要平臺規(guī)格

產(chǎn)品規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)平臺150x150mm(可選210x310mm)

標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)塔,電動(dòng)轉(zhuǎn)塔可選

垂直范圍可達(dá)100mm

傾斜階段6度

XY平臺分辨率0.1um

自動(dòng)拼接楷模

Sigma頭 - 僅限白光干涉儀

Lambda頭 - 白光干涉儀+共焦+暗場+明場

應(yīng)用

粗糙度  ●體積磨損   ●臺階高度   薄膜厚度   形貌


測試圖像示例

三維形貌儀   三維形貌儀      三維形貌儀

        DLC涂層球                                 粗糙涂層表面                                     圓球磨斑

三維形貌儀   三維形貌儀  三維形貌儀

        金剛石                                         生物膜                                         微流體通道

三維形貌儀    三維形貌儀  三維形貌儀

聚合物涂層                                        墨痕                                               硬幣

三維形貌儀 三維形貌儀   三維形貌儀

研磨墊                                        鋁的失效痕跡                                    劃痕

三維形貌儀 三維形貌儀 三維形貌儀

涂層失效痕跡                                       芯片通道                                        晶圓

以上為雙模式三維表面輪廓儀拍出的樣品形貌。在同一平臺上結(jié)合使用多種光學(xué)技術(shù),測試儀可以測量幾乎任何類型的nm分辨率樣品。該表面輪廓儀配有功能強(qiáng)大的分析軟件,符合多種標(biāo)準(zhǔn)。雙模式三維表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,模式切換可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。










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